無塵車間潔凈室性能評定標準

無塵車間潔凈室風量和風速可參考下列標準：

①亂流無塵車間潔凈室

a.系統的各項實測風量及換氣次數應大于各自的設計風量或換氣次數，但不應超過20%。在工藝無特殊要求時，換氣次數應符合設計要求。

b.室內各風口的風量與各風口設計風量之差均不應超過設計風量的±15%。

略小者調整后可測定。為達到風量穩定和節能，宜使用變頻風機。

②單向流無塵車間潔凈室

a.0.8m工作面高度截面平均風速應符合設計要求。

b.實測室內平均風速應大于設計風速，但不應超過20%。

C.實測室內新風量應大于設計新風量，但不應超過20%。

工作面風速不均勻度按下式計算，結果應不大于0. 25。

式中βν，風速不均勻度；

νi，任一點實測風速 ;

u，平均風速；

n，測點數。

無塵車間潔凈室靜壓差可參考下列標準:

①壓差值應符合設計和GMP要求。

②潔凈度為5級或更高的單向流潔凈室，開門狀態下的出入口的室內側0.6m處不應測出超過室內級別上限的濃度(據《潔凈室施工及驗收規范》。

③有不可關閉開口(如傳送帶通過口)兩邊的潔凈室，不論同級與否，按《潔凈室施工及驗收規范》，開口要求從一室流向另一室的風速(方向由設計或工藝確定)，不應小于0. 25 m/S。該室與其他相鄰環境的壓差仍應符合相關規定。

如有排風，應是排風全開的結果。

靜壓偏低時可調整室內回風口，檢查新風口。如洞口風速不足，可考慮適當縮小開口。至少應保證空氣流向符合要求，注意調整后應重新檢測該系統各風口送風量。

無塵車間潔凈室空氣潔凈度級別符合規定，并應按下列公式和規定計算。

①按下列公式計算≥0.5 μm和≥5 μm兩種微粒室平均含塵濃度N和各測點平均含塵濃度C；的標準誤差：

②判斷潔凈度級別時，應計算到小數后1位,按0.1級遞增。

③應對≥0. 5 μm和≥5 μm微粒進行同樣的計算和評價。

④在采樣點只有1個，或多于9個時，不用95%置信上限的室平均統計值方法，而直接用點平均濃度評價。

⑤計算中至多允許把一個測量值排除在外，這是ISO14644 - 1和《潔凈室施工及驗收規范》都提出的。中凈環球凈化可提供無塵車間、凈化工程的咨詢、規劃、設計、施工、安裝改造等配套服務。

⑥如果發現各點之間濃度值差異太大，應適當多測1-2點，否則，室平均統計值有超標的危險。

無塵車間潔凈室室內空氣溫度、相對濕度可參考下列標準:

②           無恒溫要求的場所：溫度和相對濕度符合設計的要求。

②有恒溫恒濕要求的場所：90%以上測點都達到的，各測點各次溫度偏離控制點的較大值，為該室室溫波動范圍，應不超過設計要求；90%以上測點都達到的，各測點平均溫度與各測點中較低一次溫度的偏差值，為該室區域溫度，應不超過設計要求。

相對濕度波動范圍可按室溫波動范圍的原則確定。

如果檢驗報告不是冬夏較不利條件下的檢測報告，應查閱企業自檢記錄，尚無自檢記錄則在冬季和夏季較不利環境條件下重新測定。

無塵車間潔凈室室內噪聲平均值應符合被測對象的噪聲控制標準的要求。沒有控制標準時，可參考以下數值：單向流潔凈室應不高于65 dB(A)，又有單向流又有非單向流的混合流潔凈室，局部單向流區不高于65 dB(A) ,非單向流區不高于63 dB(A)。

各測點數據應接近，如平均值達標，而某點超標較明顯，則應檢查噪聲源。

無塵車間潔凈室室內一般照明的工作面上較低照度值和照度均勻度(即工作面上較低照度值與平均照度值之比)應符合被測對象的照度控制標準的設計要求。沒有控制標準時，可參考以下數值：主要工作室較低照度應不低于300 lx，其他輔助房間不低于100 lx。

當要對單向流特性進行深入確認時，可測流線平行性。在工作區內氣流流向偏離規定方向的角度不大于15。

室內浮游菌和沉降菌的各點平均值應符合GMP要求。

表面導靜電性能的表面電阻值和漏泄電阻應符合被測對象的靜電控制標準的要求。沒有控制標準時，表面電阻值應為1.0×10⁷ ~ 1.0×10¹⁰ Ω漏泄電阻應為1.0X10⁵~1.0X10⁸Ω。

當對氣流組織和室內潔凈度的相關性有質疑，或出于需要快捷排除污染可能變更風口位置時，可測氣流流型進一步確認，并應繪出流型圖和給出分析意見。

實測自凈時間不應大于計算自凈時間的1.2倍。

當對不同潔凈度區域之間，或對同一區域內局部百級區與周邊區之間是否存在明顯氣流交換有質疑時，或即使是同一潔凈度房間之間也應有定向氣流時，或者對已發生交叉污染區域需進一步查明原因時，可做定向流檢驗予以確認或否認，并應繪出流動方向和給出分析意見。

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